詳細介紹
晶圓研磨機-GNX200B擁有BG貼膜研磨技術
晶圓研磨機-OKAMOTO岡本GNX200B特點:
·GNX200B擁有BG貼膜研磨技術。
·一臺設備同時實現(xiàn)BG貼膜平坦化及晶圓的減薄化
·無需修砂可持續(xù)進行高效平坦化加工。
·耗材損耗小,成本低廉。
·研磨廢料精細減輕廢水處理負擔。
·提供晶圓研磨與晶圓貼膜自動化解決方案。
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機規(guī)格:
規(guī)格 GNX200B GNX300B
大加工直徑 Ф200 Ф300
軸承旋轉數(shù) 0~3600min-1 0~3000min-1
軸承驅動電機 2.2/4 Kw/P 5.5/4 Kw/P
軸承進給速率 1~999μm/min
主軸數(shù) 2
工作軸旋轉數(shù) 1~300min-1
軸承尺寸(外徑) Ф250 Ф300
質量 3900mm 5700mm
OKAMOTO岡本GNX200B晶圓研磨機相關產(chǎn)品:
衡鵬供應
岡本OKAMOTO晶圓研磨機 GDM300/GNX200BP
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