玻璃晶圓高速激光開槽機

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產品應用：

利用高質量光束在晶圓/玻璃切割道內進行表面刻線，劃槽加工。

產品優點：

  ◆ 有效減小崩邊和脫層，提高良率

  ◆ 開槽寬度，深度可調節

  ◆ 全自動運行，集成保護液涂覆，晶圓玻璃開槽，清洗模塊

工藝流程：

  保護液涂覆---激光開槽---二流體水清洗

技術參數：

◆ 加工對象：玻璃 晶圓

◆ 激光種類：紫外激光

◆ 激光功率：≧5W

◆ 冷卻方式：封閉式循環水冷

◆ X軸：行程550mm，解析度0.1μm

◆ Y軸：行程500mm，解析度0.1μm

◆ Z軸：行程15mm，解析度0.1μm

◆ θ軸：行程120°，解析度0.001°

◆ 開槽深度：＞10μm

◆ 切割軸速度：0-500mm/s

◆ 加工尺寸：12寸以內

◆ 上表面精度：0.01mm/300mm 

◆ 清洗盤轉速：2500r/min

◆ 位置精度：0.01°

◆ 加工方式：正面開槽，全自動加工

◆ 對焦方式：自動對焦

◆ 打光系統：點光源

樣品展示：

為什么選擇韻騰激光：

的研發團隊

85%的公司員工擁有大專及以上學歷，技術研發人員占總人數的一半以上，其中研發骨干人員代表著行業內水平。

豐富的行業經驗

公司自2013年成立以來，風雨兼程一路走來，憑借著的專業技術和*的研發優勢，成功的為近300家不同行業企業提供了激光設備及其應用服務，積累了的豐富的行業經驗。

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公司始終秉承以市場為導向，解決客戶實際需求為己任，多年來公司先后獨立開發完成 觸摸屏行業 TP銀漿線+ITO自動定位蝕刻系統方案，FPC+PCB高精密自動送料切割系統等行業項目，為未來的發展打下了堅實的基礎！

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