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北京瑞邦精控科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號RBXG-800-200-12D5-1R-15
品 牌AUSPRECISION
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式：劉中偉查看聯(lián)系方式
更新時間：2026-07-11 14:11:49瀏覽次數(shù)：16次
聯(lián)系我時，請告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
|---|
RBXG-800-200-12D5-1R-15五軸精密運動臺定制系統(tǒng)，用于晶圓加工、測量。行程800mm*200mm*12.5mm*1°*15mm(XYZCEpin)。
產(chǎn)品簡介
五軸精密運動臺定制系統(tǒng)中XY軸采用雙直線電機(jī)驅(qū)動，滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，XY軸為雙驅(qū)龍門結(jié)構(gòu)，行程800mmx200mm。
Z軸采用力矩電機(jī)驅(qū)動，交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及雙光柵尺閉環(huán)反饋，平升Z軸結(jié)構(gòu)，行程12.5mm。
C軸采用力矩電機(jī)驅(qū)動，精密軸環(huán)導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，行程 1°用于角度位置調(diào)整。
Epin采用音圈電機(jī)驅(qū)動，光柵尺閉環(huán)反饋，用于晶圓切換。
ZC軸內(nèi)置XY軸中，結(jié)構(gòu)緊湊，有效降低工作點的高度，降低阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響，應(yīng)用于晶圓加工及檢測等領(lǐng)域。
五軸精密運動臺定制系統(tǒng)選用大理石材質(zhì)作為機(jī)體，大理石因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應(yīng)用于運動臺上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖
規(guī)格指標(biāo)
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