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北京瑞邦精控科技有限公司
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| 產地 | 國產 |
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RBZK系列雙軸中空精密運動臺是中空結構的，大尺寸通孔、高動態性能滿足晶圓檢測應用，同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它制造等行業。
產品特點：
疊層式布局
緊湊型中空結構
雙直驅電機驅動
納米級微動步距
高動態性能，高精度
集成式線纜管理
產品圖片
高精度設計
RBZK系列雙軸中空精密運動臺，疊層緊湊的中空外形結構，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測中至關重要。高精度滾柱導軌和精密研磨的加工表面，專業的裝配工藝，獲得直線度±1.25μm，平面度±1.5μm。
雙驅結構
RBZK系列雙軸中空精密運動臺每軸用雙直線電機驅動，龍門交叉解耦控制算法，提供雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準確的定位，直線電機的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動結構的運動臺，性能有了提升。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統誤差影響，提升整體精度性能。可選電子分辨率≤1nm或≤5nm。
集成式線纜管理
使用高質量無塵拖鏈，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔凈室內
規格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。
售后服務
我公司在2小時內響應維護服務，24小時內到達現場維護，為更好的做產品售后服務工作，及時接收用戶反饋的問題。
免費的電話咨詢和服務；
反饋時間不超過2小時；
如果需要到現場服務，質保期外的我公司只收取人員的差旅費（北京市內除外）；
質保期外的，硬件如果需要更換或修理，只收取硬件的成本；
設備正常運行驗收后，我公司指派專業工程師負責在現場為貴單位提供不受人員限制的產品設備培訓，培訓內容包括：設備正確操作使用知識；識別初級故障及必要的恢復方法；常見故障排除方法。
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