省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術(shù)設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)”通過驗(yàn)收

　　【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 市場分析】11月20日，宇環(huán)數(shù)控機(jī)床股份有限公司牽頭承擔(dān)的湖南省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術(shù)設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)”項(xiàng)目順利通過湖南省科技廳組織的綜合績效評價(jià)驗(yàn)收。驗(yàn)收會(huì)由湖南省科學(xué)技術(shù)事務(wù)中心研究員謝靜波主持，瀏陽市科技局黨組副書記、副局長周曄虹參會(huì)，集團(tuán)董事長許世雄先生出席會(huì)議并致歡迎詞。
 

　　研發(fā)項(xiàng)目現(xiàn)場驗(yàn)收
 

　　績效評價(jià)專家組由3位技術(shù)專家和1名財(cái)務(wù)專家組成，專家組通過聽取項(xiàng)目負(fù)責(zé)人對項(xiàng)目實(shí)施情況、形成技術(shù)及主要成果、經(jīng)費(fèi)執(zhí)行情況等方面的詳細(xì)匯報(bào)，結(jié)合現(xiàn)場察看產(chǎn)品、審閱相關(guān)驗(yàn)收材料及質(zhì)詢討論，一致認(rèn)為項(xiàng)目組提交的驗(yàn)收資料齊全、規(guī)范、符合項(xiàng)目驗(yàn)收要求。項(xiàng)目完成了任務(wù)書規(guī)定的考核指標(biāo)，對碳化硅基片高效精密磨削、研磨與拋光加工工藝進(jìn)行了系統(tǒng)研究，在高精度氣浮電主軸技術(shù)、高精度氣浮旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)、拋光盤壓力高精度穩(wěn)定控制技術(shù)、高精度靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)等核心技術(shù)取得了突破，提出了碳化硅減薄磨床立柱布局新結(jié)構(gòu)。研制了高精度立式單面磨床、高精度立式雙面研磨(拋光)機(jī)等三款整體技術(shù)具有國際先進(jìn)水平的產(chǎn)品，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益，建議加大新產(chǎn)品推廣力度，同時(shí)利用相關(guān)技術(shù)開發(fā)系列產(chǎn)品滿足市場需求，一致同意通過驗(yàn)收。
 

　　項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收，標(biāo)志著公司在第三代半導(dǎo)體加工裝備領(lǐng)域核心技術(shù)突破取得重要成果，宇環(huán)數(shù)控將持續(xù)深化項(xiàng)目技術(shù)轉(zhuǎn)化與推廣應(yīng)用，加大研發(fā)投入力度，推動(dòng)半導(dǎo)體加工裝備技術(shù)迭代升級，為湖南先進(jìn)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)力量。